题目
制造半导体元件时，常常要精确测定硅片上二氧化硅薄膜的厚度，这时可把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉，使其形成劈尖，利用等厚条纹测出其厚度。已知Si的折射率为3.42，SiO2的折射率为1.5，入射光波长为589.3nm，观察到7条暗纹(如所示)。问SiO2薄膜的厚度e是多少?
制造半导体元件时，常常要精确测定硅片上二氧化硅薄膜的厚度，这时可把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉，使其形成劈尖，利用等厚条纹测出其厚度。已知Si的折射率为3.42，SiO2的折射率为1.5，入射光波长为589.3nm，观察到7条暗纹(如所示)。问SiO2薄膜的厚度e是多少?
题目解答
答案
由于劈尖上下表面的反射都有半波损失，所以对于暗纹有 e，k=0，1，2，… 第7条暗纹对应的k为6，所以薄膜的厚度 e =1.28×10-6m=1.28μm[知识点窍] 等厚条纹的暗纹。 [逻辑推理] 根据等厚条纹的暗纹的条件公式，可以反求出薄膜的厚度e。