6.求平面2x-2y+z+5=0与xOy面的夹角的余弦值.

平面 $2x - 2y + z + 5 = 0$ 的法向量为 $\vec{n_1} = (2, -2, 1)$，$xOy$ 面的法向量为 $\vec{n_2} = (0, 0, 1)$。
两向量夹角余弦值为：
$\cos \theta = \frac{|\vec{n_1} \cdot \vec{n_2}|}{|\vec{n_1}| |\vec{n_2}|} = \frac{|2 \times 0 + (-2) \times 0 + 1 \times 1|}{\sqrt{2^2 + (-2)^2 + 1^2} \times \sqrt{0^2 + 0^2 + 1^2}} = \frac{1}{3}$
或者，使用公式 $\cos \theta = \frac{|C|}{\sqrt{A^2 + B^2 + C^2}}$，得：
$\cos \theta = \frac{|1|}{\sqrt{2^2 + (-2)^2 + 1^2}} = \frac{1}{3}$

答案： $\boxed{\frac{1}{3}}$