下列分析方法中分辨率最高的是( )A. SEMB. TEMC. 特征 X射线

本题考查显微分析技术的分辨率比较，需明确三种方法的核心特点：

• SEM（扫描电子显微镜）：通过扫描电子束成像，空间分辨率一般在纳米级别，适合观察样品表面形貌。
• TEM（透射电子显微镜）：利用透射电子束成像，空间分辨率可达原子级别（约0.1纳米），适合观察样品内部结构。
• 特征X射线：主要用于元素成分分析，其分辨率主要指光谱分辨率（如能量分辨率），与空间分辨率无关。

关键点：题目中“分辨率最高”指空间分辨率，因此需比较成像能力。

1. SEM的空间分辨率
   SEM通过检测二次电子成像，最大分辨率约为1-10纳米，受限于电子束的波长和样品表面状态。

2. TEM的空间分辨率
   TEM通过透射电子束与样品相互作用，理论分辨率可达0.1纳米以下（如高分辨率TEM），能直接观察原子排列。

3. 特征X射线的作用
   特征X射线用于元素定量分析（如EDS、WDS），其分辨率反映能量分辨能力（如EDS为几十eV，WDS更高），但不涉及空间成像。

结论：在空间分辨率维度，TEM显著高于SEM和特征X射线分析。