[填空题] 产生超声生物效应的物理机制主要有_________机制、__________机制和___________机制。

超声波在生物组织中传播时，会产生多种生物效应，这些效应主要由三种物理机制引起：热机制、机械机制和空化机制。热机制是由于超声波在组织中传播时，由于吸收和散射导致的热量产生；机械机制是由于超声波引起的组织振动和压力变化；空化机制是由于超声波在液体中产生的气泡形成和崩溃过程。