利用外光电效应制成的器件有________________________。利用内光电效应制成的器件有________________________。利用光生伏特效应制成的器件有________。

步骤 1：理解光电效应的分类
光电效应分为外光电效应、内光电效应和光生伏特效应。外光电效应是指光照射在金属表面时，金属表面的电子吸收光子能量后逸出金属表面的现象。内光电效应是指光照射在半导体材料上时，半导体材料的电阻率发生变化的现象。光生伏特效应是指光照射在半导体材料上时，半导体材料产生电动势的现象。
步骤 2：列举外光电效应的器件
外光电效应的器件包括光电管、光电倍增管和光电摄像管。这些器件利用光照射在金属表面时，金属表面的电子吸收光子能量后逸出金属表面的现象，将光信号转换为电信号。
步骤 3：列举内光电效应的器件
内光电效应的器件包括光敏电阻、光敏二极管和光敏三极管。这些器件利用光照射在半导体材料上时，半导体材料的电阻率发生变化的现象，将光信号转换为电信号。
步骤 4：列举光生伏特效应的器件
光生伏特效应的器件包括光电池。这些器件利用光照射在半导体材料上时，半导体材料产生电动势的现象，将光信号转换为电信号。