10. 光学分辨率增强技术主要包括那些？

答：从广义上讲，分辨率增强技术包括移相掩模技术（phase shift mask）、离轴照明技术(off-axis illumination)、光学邻近效应校正技术(optical proximity correction)、光瞳滤波技术（pupil filtering technology）以及其它一切在不增大数值孔径和不缩短曝光波长的前提下，通过改变光波波前，来提高光刻分辨率，增大焦深和提高光刻图形质量的技术和方法。