题目

E. UV光刻机以波长为13.5纳米的()作为光源的光刻技术。A. 极蓝光B. 极红光C. 极紫外光D. 极红外光

E. UV光刻机以波长为13.5纳米的()作为光源的光刻技术。

A. 极蓝光

B. 极红光

C. 极紫外光

D. 极红外光

题目解答

答案

C. 极紫外光

解析

EUV光刻机使用极紫外光（Extreme Ultraviolet）作为光源，波长为13.5纳米。这种技术用于制造半导体芯片，能够实现更小的特征尺寸，从而提高芯片的性能和集成度。