在结构方程模型分析中，对于潜变量的叙述，不正确的是:A. 无法直接观测或度量B. 需要通过显变量来间接地进行测度C. 必须用5个以上显变量作为潜变量的测度D. 可以分为外生潜变量与内生潜变量

步骤 1：理解潜变量的定义
潜变量是指在结构方程模型中，无法直接观测或度量的变量，需要通过显变量来间接地进行测度。潜变量可以分为外生潜变量与内生潜变量。
步骤 2：分析选项
A. 无法直接观测或度量：这是潜变量的定义，正确。
B. 需要通过显变量来间接地进行测度：这也是潜变量的定义，正确。
C. 必须用5个以上显变量作为潜变量的测度：潜变量的测度数量没有固定要求，可以少于5个，错误。
D. 可以分为外生潜变量与内生潜变量：这是潜变量的分类，正确。
步骤 3：选择不正确的选项
根据以上分析，选项C是不正确的。