Grove模型中，控制薄膜淀积速率的两个环节是：1. 反应剂在边界层中的____；2. 反应剂在衬底表面上的____。

Grove模型中，控制薄膜淀积速率的两个环节是： 1. 反应剂在边界层中的____； 2. 反应剂在衬底表面上的____。