化学反应失控使（）增高是使设备造成破坏的原因之一。A. 物料B. 内压C. 质量D. 燃烧速度

步骤 1：理解化学反应失控的含义
化学反应失控是指化学反应过程中，反应速率突然加快，导致反应条件（如温度、压力等）急剧变化，超出设备设计范围，从而可能造成设备破坏。

步骤 2：分析选项
A. 物料：化学反应失控不会直接导致物料增加或减少，因此不是设备破坏的原因。
B. 内压：化学反应失控可能导致反应容器内的压力急剧升高，超出设备承受范围，从而造成设备破坏。
C. 质量：化学反应失控不会直接导致物料质量变化，因此不是设备破坏的原因。
D. 燃烧速度：虽然化学反应失控可能导致燃烧速度加快，但直接导致设备破坏的原因是内压升高。

步骤 3：确定正确答案
根据以上分析，化学反应失控导致设备破坏的原因是内压升高。