题目

相比于电阻加热蒸发，电子束蒸发具有哪些显著优点？A. 能够加热熔点极高的材料B. 源物质与加热体不直接接触，薄膜纯度高C. 设备结构简单，成本低廉D. 蒸发速率可以通过控制电子束功率精确调控

相比于电阻加热蒸发，电子束蒸发具有哪些显著优点？

A. 能够加热熔点极高的材料

B. 源物质与加热体不直接接触，薄膜纯度高

C. 设备结构简单，成本低廉

D. 蒸发速率可以通过控制电子束功率精确调控

题目解答

答案

ABD
A. 能够加热熔点极高的材料
B. 源物质与加热体不直接接触，薄膜纯度高
D. 蒸发速率可以通过控制电子束功率精确调控