在CVD装置中，用于精确控制各种气体配比的是（）。A. 加热系统B. 气相反应室C. 气体控制系统D. 排气处理系统

在化学气相沉积（CVD）装置中，气体控制系统负责精确控制各种气体的配比，以确保反应过程中的气体成分符合工艺要求。加热系统、气相反应室和排气处理系统分别负责提供反应所需的温度、进行化学反应和处理反应后的废气，但它们并不直接控制气体的配比。