题目
热扩散掺杂的工艺可以一步实现。A. 正确B. 错误
热扩散掺杂的工艺可以一步实现。
A. 正确
B. 错误
题目解答
答案
B. 错误
解析
热扩散掺杂是半导体制造中的关键工艺,其核心是通过高温环境使掺杂剂原子扩散到半导体材料中。该工艺通常需要多步骤完成,包括准备、加热扩散、冷却等环节。题目考查对热扩散掺杂工艺流程的理解,需明确其是否能“一步实现”。
关键点:热扩散掺杂的物理过程依赖于原子的热运动,需要足够的时间和温度控制,无法在单一操作中完成全部步骤。
热扩散掺杂的具体步骤通常包括:
- 准备阶段:将半导体材料(如硅片)与掺杂剂(固体或气体)置于密闭容器中。
- 高温扩散:在高温(几百摄氏度)下,掺杂剂原子通过热运动扩散到半导体表面并渗透内部。
- 冷却处理:降温以固定掺杂效果,防止原子回迁。
- 清洗与检测:去除残留物并验证掺杂浓度。
由于上述步骤相互独立且必要,热扩散掺杂无法通过单一操作完成,因此题目答案为错误。