题目

微纳加工工艺中，微硕材料常用的光刻技术是（ ）：A. 电子束光刻B. 极紫外光刻C. 紫外光刻D. 以上都有应用

微纳加工工艺中，微硕材料常用的光刻技术是（ ）：

A. 电子束光刻

B. 极紫外光刻

C. 紫外光刻

D. 以上都有应用

题目解答

答案

D. 以上都有应用