题目
中多晶硅的制备工艺一般包括:多晶硅的装料和熔化、种晶、引细颈、放肩、等径和收尾。A. 正确B. 错误
中多晶硅的制备工艺一般包括:多晶硅的装料和熔化、种晶、引细颈、放肩、等径和收尾。
A. 正确
B. 错误
题目解答
答案
B. 错误
解析
本题考查多晶硅制备工艺的相关知识。解题思路是明确多晶硅制备工艺的标准流程,然后与题目中所描述的流程进行对比判断。
多晶硅的制备工艺一般包括:多晶硅的装料和熔化、种晶、引细颈、放肩、等径和收尾。但在实际的多晶硅制备过程中,还有一个重要的步骤是“缩颈”,它在放肩和等径之间,用于消除细颈生长过程中可能引入的缺陷,保证后续等径生长的质量。而题目中未提及“缩颈”这一关键步骤,所以描述不完整,该说法错误。