在外延工艺中,如果膜和衬底材料相同,例如硅衬底上长硅膜,这样的膜生长称为同质外延;反之,膜和衬底材料不一致的情况,例如硅衬底上长氧化铝,则称为异质外延。()A. 对B. 错

在外延工艺中，如果膜和衬底材料相同，例如硅衬底上长硅膜，这样的膜生长称为同质外延。如果膜和衬底材料不一致，例如硅衬底上长氧化铝，这样的膜生长称为异质外延。这种分类是基于膜和衬底材料是否相同来定义的。