低温、高速的沉积往往有助于形成粗大甚至单晶结构的薄膜。A. 正确B. 错误

薄膜的沉积过程受温度和沉积速率的影响。低温和高速沉积通常不利于原子或分子的充分扩散和排列，从而难以形成粗大或单晶结构的薄膜。相反，高温和低速沉积有利于原子或分子的充分扩散和排列，从而有助于形成粗大甚至单晶结构的薄膜。