题目物理气相沉积[1]PVD的工艺方法有()A. 真空蒸镀[2]B. 溅射镀膜C. 化学气相沉积[3]D. 热喷涂E. 离子注入物理气相沉积[1]PVD的工艺方法有()A. 真空蒸镀[2]B. 溅射镀膜C. 化学气相沉积[3]D. 热喷涂E. 离子注入题目解答答案ABA. 真空蒸镀[2]B. 溅射镀膜