在结深公式中,影响到A数值的因素有:A. 杂质分布类型B. 衬底杂质浓度C. 表面杂质浓度D. 杂质种类

考查要点：本题主要考查对半导体工艺中结深公式中参数A影响因素的理解，需明确各选项与公式参数的关联性。

解题核心思路：

1. 结深公式通常形式为 $J = A \cdot (N_s - N_b)^{0.5} \cdot t^{0.5}$，其中 A 的取值与杂质的扩散特性相关。
2. 关键点在于区分直接影响A的因素（如杂质分布类型、浓度梯度）与间接影响或无关因素（如杂质种类可能通过扩散系数间接影响，但题目中未明确包含）。

破题关键：

• 杂质分布类型（A）决定扩散路径的均匀性。
• 衬底杂质浓度（B）和表面杂质浓度（C）共同构成浓度梯度，直接影响扩散动力。
• 杂质种类（D）虽影响扩散系数，但题目中A的定义未直接包含此因素。

选项分析

A. 杂质分布类型

杂质在衬底中的分布（如均匀分布或梯度分布）直接影响扩散路径的复杂性，从而改变A的取值。正确。

B. 衬底杂质浓度

衬底浓度 $N_b$ 是结深公式中的直接变量，通过 $(N_s - N_b)$ 影响A的计算。正确。

C. 表面杂质浓度

表面浓度 $N_s$ 与衬底浓度共同形成浓度梯度，直接参与公式计算。正确。

D. 杂质种类

不同杂质种类的扩散系数不同，但题目中A的定义未明确包含扩散系数相关参数，因此不属于直接影响因素。错误。