题目
多晶硅的制备方法有 。A. 三氯氢硅的氢还原法B. 二氯氢硅的氢还原法C. 硅烷的热分解法D. 直拉法
多晶硅的制备方法有 。
- A. 三氯氢硅的氢还原法
- B. 二氯氢硅的氢还原法
- C. 硅烷的热分解法
- D. 直拉法
题目解答
答案
A,B,C
解析
多晶硅的制备方法主要涉及化学还原反应,其中三氯氢硅、二氯氢硅和硅烷的氢还原法是常用的工业方法。这些方法通过氢气与相应的硅化合物反应,生成高纯度的多晶硅。直拉法通常用于单晶硅的制备,而不是多晶硅。