晶体中的空位、自填隙、杂质都对杂质扩散有影响，其中空位对P、B等慢扩散杂质的影响最大。A. 正确B. 错误

在晶体中，空位、自填隙和杂质都会影响杂质的扩散。空位是晶体中缺少原子的位置，它们可以作为杂质原子扩散的通道。对于P、B等慢扩散杂质，空位的存在可以显著增加它们的扩散速率，因为这些杂质原子可以通过空位进行跳跃式扩散，从而加速扩散过程。因此，空位对P、B等慢扩散杂质的影响最大。