题目

微纳加工工艺中，微硕材料常用的光刻技术是()：A. 以上都有应用B. 电子束光刻C. 紫外光刻D. 极紫外光刻

微纳加工工艺中，微硕材料常用的光刻技术是()：

A. 以上都有应用

B. 电子束光刻

C. 紫外光刻

D. 极紫外光刻

题目解答

答案

A. 以上都有应用