题目在微硕材料的芯片制造工艺中，光刻环节的关键设备是（）：A. 清洗机[1]B. 镀膜机C. 刻蚀机D. 光刻机在微硕材料的芯片制造工艺中，光刻环节的关键设备是（）：A. 清洗机[1]B. 镀膜机C. 刻蚀机D. 光刻机题目解答答案D. 光刻机