题目
应用最广泛的一种溅射沉积方法是( )A. 直流溅射B. 射频溅射C. 磁控溅射D. 反应溅射
应用最广泛的一种溅射沉积方法是( )
A. 直流溅射
B. 射频溅射
C. 磁控溅射
D. 反应溅射
题目解答
答案
C. 磁控溅射
解析
溅射沉积方法包括直流溅射、射频溅射、磁控溅射、反应溅射、中频溅射与脉冲溅射、偏压溅射、离子束溅射等。其中,磁控溅射技术因其沉积速度较高、工作气体压力较低等独特优越性,成为应用最广泛的一种溅射沉积法。
A. 直流溅射
B. 射频溅射
C. 磁控溅射
D. 反应溅射