题目

离子注入时热退火过程中主要发生:A. 载流子迁移率提高B. 掺杂原子得到电激活C. 载流子寿命减少D. 晶格结构松弛

离子注入时热退火过程中主要发生:

A. 载流子迁移率提高

B. 掺杂原子得到电激活

C. 载流子寿命减少

D. 晶格结构松弛

题目解答

答案

B. 掺杂原子得到电激活