题目
硅片表面常见的沾污有哪些 A. 人B. 有机残余物C. 空气D. 自然氧化层E. 颗粒F. 金属离子G. 静电释放
硅片表面常见的沾污有哪些
- A. 人
- B. 有机残余物
- C. 空气
- D. 自然氧化层
- E. 颗粒
- F. 金属离子
- G. 静电释放
题目解答
答案
BDEF
解析
硅片表面的沾污主要来源于制造和处理过程中的各种因素。这些沾污物可能包括有机物、金属离子、颗粒物以及自然氧化层等。这些沾污物会影响硅片的电学性能和后续的加工步骤。选项中,人、空气和静电释放虽然可能间接影响硅片的清洁度,但它们不是直接的沾污物。而有机残余物、自然氧化层、颗粒和金属离子则是硅片表面常见的直接沾污物。