题目
硅片表面常见的沾污有哪些A. 人B. 有机残余物C. 空气D. 自然氧化层E. 颗粒F. 金属离子G. 静电释放
硅片表面常见的沾污有哪些
A. 人
B. 有机残余物
C. 空气
D. 自然氧化层
E. 颗粒
F. 金属离子
G. 静电释放
题目解答
答案
BDEF
B. 有机残余物
D. 自然氧化层
E. 颗粒
F. 金属离子
B. 有机残余物
D. 自然氧化层
E. 颗粒
F. 金属离子
解析
硅片表面的沾污主要来源于制造和处理过程中的各种因素。这些沾污物可能包括有机物、金属离子、颗粒物以及自然氧化层等。这些沾污物会影响硅片的电学性能和后续的加工步骤。选项中,人、空气和静电释放虽然可能间接影响硅片的清洁度,但它们不是直接的沾污物。而有机残余物、自然氧化层、颗粒和金属离子则是硅片表面常见的直接沾污物。