还原生产中多晶硅棒氧化夹层主要物质是A. 三氯氢硅B. 氧气C. 二氧化硅D. 二氯二氢硅

步骤 1：理解多晶硅棒的生产过程
在多晶硅棒的生产过程中，硅材料在高温下与氯气反应生成三氯氢硅，然后在还原反应中，三氯氢硅与氢气反应生成硅和氯化氢。如果在生产过程中有氧气存在，硅会与氧气反应生成二氧化硅。
步骤 2：分析选项
A. 三氯氢硅：这是在生产过程中生成的中间产物，不是氧化夹层的主要物质。
B. 氧气：虽然氧气参与了氧化反应，但它不是氧化夹层的主要物质。
C. 二氧化硅：这是硅与氧气反应的产物，是氧化夹层的主要物质。
D. 二氯二氢硅：这是在生产过程中生成的中间产物，不是氧化夹层的主要物质。
步骤 3：确定答案
根据上述分析，多晶硅棒氧化夹层的主要物质是二氧化硅。