题目
硅片切割产生的机械损伤层三层结构不包括以下哪一项?A. 弹性应变区B. 位错网络区C. 非晶沉积区D. 碎晶区
硅片切割产生的机械损伤层三层结构不包括以下哪一项?
A. 弹性应变区
B. 位错网络区
C. 非晶沉积区
D. 碎晶区
题目解答
答案
C. 非晶沉积区
解析
本题考查硅片切割产生的机械损伤层的结构组成知识。解题思路是明确硅片切割损伤层的标准三层结构,然后将各选项与之对比,判断哪个选项不属于该结构。
硅片在切割过程中,因机械应力作用表面会形成损伤层,其标准的三层结构分别为:
- 弹性应变区:处于损伤层最外层,此区域晶格仅发生弹性畸变,并没有产生永久的塑性变形。
- 位错网络区:位于损伤层中间层,该区域晶格中的位错密度显著增加,形成了位错网络,是塑性变形集中的区域。
- 碎晶区:为损伤层最内层,这里的晶粒被破碎成微小晶粒,结构高度紊乱。
而“非晶沉积区”并非是硅片切割损伤层的固有结构组成部分。非晶沉积一般是指通过物理或化学气相沉积等方式在表面形成的非晶态薄膜,和切割过程中因机械应力导致的晶格损伤没有关系。