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生产中常常采用干-湿-干氧化的方式,第一次氧化是提高Si/SiO2的界面特性,湿氧氧化则是尽快达到厚度要求,第二次氧化是提高二氧化硅的表面特性。A. 正确B. 错误

生产中常常采用干-湿-干氧化的方式,第一次氧化是提高Si/SiO2的界面特性,湿氧氧化则是尽快达到厚度要求,第二次氧化是提高二氧化硅的表面特性。

A. 正确

B. 错误

题目解答

答案

A. 正确

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