固一固扩散是利用晶固表面含有所需杂质的氧化层作为杂质源进行扩散的方法。A. 正确B. 错误

考查要点：本题主要考查对固体扩散基本原理的理解，特别是对杂质源概念的辨析。

解题核心思路：
固体扩散是指原子在固体材料中的迁移过程，其核心在于浓度梯度驱动。题目中提到“氧化层作为杂质源”，需判断氧化层是否具备作为杂质源的特性。
关键点在于：

1. 氧化层通常为致密结构，可能限制原子扩散；
2. 杂质源一般要求高浓度、易释放杂质的材料，而氧化层并非典型杂质源。

固体扩散的定义：
固体扩散是原子在固体中通过热力学作用从高浓度区域向低浓度区域迁移的过程。其发生需要满足两个条件：

1. 浓度梯度；
2. 原子的热运动能力（通常需高温）。

对题干的分析：
题目认为“氧化层作为杂质源”，但需明确：

1. 氧化层的特性：氧化层（如金属氧化物）通常致密且结构稳定，杂质原子不易从其中脱出；
2. 杂质源的定义：杂质源应为含有高浓度目标杂质且能释放原子的材料（如高浓度掺杂层或外部气氛）。
   因此，氧化层并非典型的杂质源，题干描述错误。