以下哪种方法不属于薄膜材料的物理制备方法?A. 蒸发法B. 溅射法C. 化学气相沉积法D. 外延生长法

本题考查薄膜材料制备方法的分类，核心在于区分物理制备方法与化学制备方法的关键特征。

• 物理制备方法（如物理气相沉积，PVD）主要通过物理过程（如蒸发、溅射）将材料转移到基底上，不涉及化学反应。
• 化学制备方法（如化学气相沉积，CVD）则依赖化学反应生成薄膜。
  破题关键：明确各选项对应的技术原理，判断是否涉及化学反应。

选项分析

A. 蒸发法

通过加热使材料蒸发，蒸气在基底上凝结成膜，无化学反应，属于物理方法。

B. 溅射法

利用高能粒子轰击靶材，使材料原子溅射到基底，无化学反应，属于物理方法。

C. 化学气相沉积法

通过气相化学前驱体在基底表面发生化学反应生成薄膜，属于化学方法。

D. 外延生长法

通过原子逐层生长形成薄膜，通常涉及物理或弱化学过程（如分子束外延），仍归类为物理方法。

结论：化学气相沉积法（C）是化学制备方法，其他均为物理方法。