一般软烘的温度比坚膜更高，时间更长一些。A. 正确B. 错误

本题考查对软烘和坚膜工艺参数的了解。解题思路是明确软烘和坚膜的定义及各自的工艺特点，通过对比两者的温度和时间参数来判断该说法的正误。

• 软烘是在光刻工艺中，对涂覆了光刻胶的晶圆进行的初步烘烤过程。其目的是去除光刻胶中的部分溶剂，使光刻胶具有一定的粘性和流动性，以便后续的曝光和显影操作。软烘的温度一般相对较低，通常在 80 - 120℃之间，时间也较短，一般在 30 - 60 秒。
• 坚膜是在光刻工艺中，对曝光后的光刻胶进行的进一步烘烤过程。其目的是使光刻胶中的化学反应完全进行，使光刻胶具有更好的抗蚀性和稳定性。坚膜的温度一般相对较高，通常在 150 - 200℃之间，时间也较长，一般在 60 - 120 秒。
  通过对比软烘和坚膜的温度和时间参数，可以得出软烘的温度比坚膜更低，时间更短一些。所以“一般软烘的温度比坚膜更高，时间更长一些”的说法是错误的。