【判断题】刻蚀洁净度会直接影响到刻蚀图形的精确度

刻蚀洁净度和刻蚀图形的精确度是半导体制造中的关键概念。

• 刻蚀洁净度指刻蚀过程中环境或材料的清洁程度，包括颗粒物、污染物等因素。
• 刻蚀图形的精确度涉及最终图案的尺寸、形状和位置是否符合设计要求。

核心逻辑：
污染物（如颗粒）会干扰刻蚀剂的均匀作用，导致图案刻蚀不均或残损，直接影响图形的精确度。高洁净度能确保刻蚀过程的稳定性，从而保障图形质量。

1. 污染物的影响

   • 颗粒附着在晶圆表面，可能阻挡刻蚀剂，导致局部刻蚀不足。
   • 颗粒溶解或残留可能形成额外凹痕，破坏图形完整性。

2. 刻蚀选择性与各向异性

   • 高洁净度保证刻蚀气体纯度，维持反应动力学稳定，提高图形边缘的平滑度。
   • 污染物会降低刻蚀选择性，使图形出现不规则形状。

结论：刻蚀洁净度通过控制污染物直接影响图形的精确度，因此题目正确。