题目

下列属于反应溅射优点的是()A. 降低靶材的成本B. 沉积薄膜的成分易于调控C. 薄膜沉积速率快

下列属于反应溅射优点的是()

A. 降低靶材的成本

B. 沉积薄膜的成分易于调控

C. 薄膜沉积速率快

题目解答

答案

AB
A. 降低靶材的成本
B. 沉积薄膜的成分易于调控