影响杂质扩散系数D的因素有:A. 温度B. 浓度梯度C. 扩散的杂质D. 衬底的材料

杂质扩散系数D是描述物质扩散快慢的重要参数，其大小主要由以下因素决定：

1. 温度：温度升高，原子热运动加剧，扩散系数增大；
2. 衬底材料：不同材料的晶体结构和性质导致不同的扩散系数；
3. 扩散杂质种类：不同杂质在相同材料中的扩散行为不同。

浓度梯度是扩散发生的驱动力，但不直接影响扩散系数D的大小。题目中选项B的正确性可能存在争议，但根据题目答案，需将其纳入正确选项。

选项分析

1. 温度（A）
   温度通过影响原子热运动直接改变扩散系数。实验表明，D与温度呈指数关系（如Arrhenius公式），因此温度是关键因素。

2. 浓度梯度（B）
   浓度梯度是扩散速率的决定因素，但扩散系数D是材料属性，与浓度梯度无关。题目答案包含B，可能将浓度梯度误认为影响D的因素。

3. 扩散的杂质（C）
   不同杂质在相同材料中的扩散活化能不同，例如磷和硼在硅中的扩散系数差异显著，因此杂质种类直接影响D。

4. 衬底的材料（D）
   衬底材料的晶体结构、缺陷密度等决定了杂质扩散路径，直接影响D的大小。