题目
解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。A. 正确B. 错误
解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。
A. 正确
B. 错误
题目解答
答案
B. 错误
解析
肖特基接触是一种金属与半导体接触形成的整流结,其形成与金属和半导体的功函数差异有关。在铝互连中,如果金属与半导体的功函数差异较大,容易形成肖特基接触,导致接触电阻增加,影响器件性能。解决肖特基接触的方法通常是在电极引出部分进行重掺杂,而不是轻掺杂,以减小金属与半导体之间的功函数差异,从而降低接触电阻。