题目
切片之前必须采用光点定向法对单晶硅进行定晶向。A. 正确B. 错误
切片之前必须采用光点定向法对单晶硅进行定晶向。
- A. 正确
- B. 错误
题目解答
答案
A
解析
考查要点:本题主要考查对单晶硅加工工艺中关键步骤的理解,特别是切片前晶向确定的方法。
解题核心:明确光点定向法在单晶硅切片前的作用,即通过光反射特性确定晶体方向,确保后续切片方向的准确性。
关键点:
- 单晶硅的晶向特性:晶体方向直接影响材料性能,必须在切片前确定。
- 光点定向法的作用:利用光点位置快速、精确地定位晶向,是工业标准流程中的必要步骤。
单晶硅的制备过程中,晶向的确定是关键步骤之一。若切片方向错误,可能导致晶片无法满足半导体器件的性能要求。光点定向法通过观察单晶硅表面在特定光源下的光点分布,快速识别晶体的<111>或<100>等主晶向,从而为切片提供准确基准。因此,切片前必须使用此方法定晶向,否则可能导致产品不合格。