在以下几项中,热氧化生长速率影响因素中最大的是 A. ,温度B. ,压力C. ,掺杂D. ,晶向

步骤 1：理解热氧化生长速率的影响因素
热氧化生长速率是指在热氧化过程中，氧化层厚度随时间增长的速度。影响热氧化生长速率的因素包括温度、压力、掺杂和晶向等。
步骤 2：分析温度对热氧化生长速率的影响
温度是热氧化过程中最重要的影响因素。根据Arrhenius方程，氧化速率与温度呈指数关系，即温度越高，氧化速率越快。
步骤 3：分析其他因素对热氧化生长速率的影响
压力、掺杂和晶向对热氧化生长速率也有影响，但相对于温度来说，这些因素的影响较小。