在干法刻蚀中，适当的掺杂氢原子会降低刻蚀速度，而掺杂氧原子则会提高刻蚀速度。A. 正确B. 错误

本题考查干法刻蚀中掺杂气体对刻蚀速度的影响。关键在于理解不同气体（氢原子、氧原子）在刻蚀过程中的作用机制：

• 氢原子通常通过钝化反应降低刻蚀速率；
• 氧原子可能通过促进氧化反应或改变等离子体特性提高刻蚀速率。

氢原子的作用

1. 钝化反应：氢原子会与刻蚀过程中产生的副产物（如反应性自由基）发生反应，减少活性物质的浓度。
2. 降低刻蚀活性：通过钝化，氢原子抑制了刻蚀反应的进行，从而降低刻蚀速度。

氧原子的作用

1. 促进氧化反应：氧原子可与被刻蚀材料形成易挥发的氧化物，加速刻蚀过程。
2. 增强等离子体活性：氧原子可能改变等离子体的组成，生成更多活性物种，从而提高刻蚀速度。