题目在对晶体进行离子注入时,入射离子的方向如果与靶晶的某个晶向平行时会发生沟道效应,为了解决这个问题,通常采用两种方法:A. 提高温度B. 晶体主轴方向偏离入射角C. 掺杂少量杂质在对晶体进行离子注入时,入射离子的方向如果与靶晶的某个晶向平行时会发生沟道效应,为了解决这个问题,通常采用两种方法:A. 提高温度B. 晶体主轴方向偏离入射角C. 掺杂少量杂质题目解答答案B. 晶体主轴方向偏离入射角