在各向同性刻蚀时，薄膜的厚度应该大致大于或等于所要求分辨率的三分之一。如果图形所要求的分辨率远小于薄膜厚度，则必须采用各向异性刻蚀。

在各向同性刻蚀过程中，刻蚀剂会均匀地从各个方向对材料进行刻蚀，导致图形的侧壁变得倾斜，分辨率降低。因此，为了保证图形的分辨率，薄膜的厚度需要大于或等于所要求分辨率的三分之一。如果图形所要求的分辨率远小于薄膜厚度，各向同性刻蚀会导致图形的分辨率无法满足要求，因此必须采用各向异性刻蚀，以保持图形的垂直侧壁和高分辨率。