题目
要生长一个单位厚度的SiO₂,需要消耗_个单位厚度的硅层。A. 0.44B. 7C. 2D. 0.7
要生长一个单位厚度的SiO₂,需要消耗_个单位厚度的硅层。
A. 0.44
B. 7
C. 2
D. 0.7
题目解答
答案
A. 0.44
解析
本题考查半导体材料氧化过程中硅与二氧化硅的厚度关系。关键在于理解化学反应的摩尔比例以及体积变化。硅(Si)与氧气(O₂)反应生成二氧化硅(SiO₂),反应式为:
$\text{Si} + \text{O}_2 \rightarrow \text{SiO}_2$
每生成1摩尔SiO₂需消耗1摩尔Si。由于Si和SiO₂的摩尔体积不同,生成单位厚度的SiO₂时,需计算对应的Si厚度。
-
化学反应分析
反应式表明,生成1单位摩尔的SiO₂需消耗1单位摩尔的Si。 -
体积与厚度关系
- 硅(Si)的摩尔体积:
$V_{\text{Si}} = \frac{\text{摩尔质量}}{\text{密度}} = \frac{28.085 \, \text{g/mol}}{2.33 \, \text{g/cm}^3} \approx 12.05 \, \text{cm}^3/\text{mol}$ - 二氧化硅(SiO₂)的摩尔体积:
$V_{\text{SiO}_2} = \frac{60.084 \, \text{g/mol}}{2.2 \, \text{g/cm}^3} \approx 27.31 \, \text{cm}^3/\text{mol}$
- 硅(Si)的摩尔体积:
-
厚度计算
厚度与体积成正比。生成单位厚度(设为$h'=1$)的SiO₂,所需Si的厚度$h$满足:
$h = h' \cdot \frac{V_{\text{Si}}}{V_{\text{SiO}_2}} = 1 \cdot \frac{12.05}{27.31} \approx 0.44$