题目
铝常常采用的干法刻蚀气体为:A. BClxB. Cl2C. HFD. HCl
铝常常采用的干法刻蚀气体为:
- A. BClx
- B. Cl2
- C. HF
- D. HCl
题目解答
答案
AB
解析
铝的干法刻蚀通常使用能够与铝反应生成挥发性化合物的气体，从而实现刻蚀。BClx（氯化硼）和Cl2（氯气）都是常用的刻蚀气体，因为它们能够与铝反应生成挥发性的AlCl3，从而实现刻蚀。HF（氢氟酸）和HCl（氢氯酸）虽然也能与铝反应，但它们生成的化合物不是挥发性的，因此不适合用于干法刻蚀。