氮化硅湿法刻蚀常常采用的湿法腐蚀液为A. 磷酸B. 氢氟酸C. 硝酸D. 硫酸

氮化硅（Si₃N₄）是一种非常稳定的材料，通常需要使用强酸性溶液进行湿法刻蚀。在给出的选项中，磷酸（H₃PO₄）是一种强酸，能够有效地与氮化硅反应，从而实现刻蚀。氢氟酸（HF）、硝酸（HNO₃）和硫酸（H₂SO₄）虽然也是强酸，但它们对氮化硅的刻蚀效果不如磷酸显著。因此，氮化硅湿法刻蚀常常采用磷酸作为湿法腐蚀液。