干法刻蚀适用于：A. 粗线条B. 细线条

本题考查干法刻蚀的适用场景相关知识。解题思路是需要了解干法刻蚀的特点，然后根据这些特点来判断其适用于粗线条还是细线条的加工。

干法刻蚀是利用等离子体中的活性粒子与材料表面发生化学反应或物理轰击来实现刻蚀的技术。它具有以下特点使其适用于细线条加工：

• 干法刻蚀具有较高的各向异性，这意味着刻蚀过程中垂直方向的刻蚀速度远大于水平方向的刻蚀速度。在加工细线条时，各向异性可以保证线条的侧壁陡峭，不会出现侧向的过度刻蚀，从而能够精确地刻蚀出细线条的形状。
• 干法刻蚀可以精确控制刻蚀的深度和形状，通过调整等离子体的参数（如气体成分、压力、功率等），可以实现对刻蚀过程的精确控制，这对于细线条的高精度加工非常重要。

而对于粗线条的加工，由于其对精度和侧壁陡峭度的要求相对较低，湿法刻蚀等其他刻蚀方法可能更具成本优势和效率。