15、4英寸的单晶硅锭的切割方式为:()。A. 外圆切割B. 内圆切割C. 线锯切割D. 以上均可

本题考查单晶硅锭切割方式的相关知识，需明确不同切割方法的适用场景。关键点在于：

1. 内圆切割适用于较小尺寸的硅锭，能实现高精度切割；
2. 线锯切割（如多线切割）常用于大尺寸或批量生产，但非本题答案；
3. 外圆切割与工件形状相关，但不符合题干要求；
4. 4英寸硅锭属于较小尺寸，内圆切割是其典型切割方式。

选项分析

• A. 外圆切割：主要用于加工工件的外圆柱面，与硅锭切割无关。
• B. 内圆切割：通过内圆切割机对工件内圆或端面进行高精度切割，适合小尺寸硅锭。
• C. 线锯切割：虽广泛应用于硅锭切割，但通常针对大尺寸或批量加工，非本题答案。
• D. 以上均可：错误，因不同切割方式适用场景不同。

结论

4英寸单晶硅锭因尺寸较小，需高精度切割，故选择内圆切割。