薄膜与衬底的结合界面形态包括A. 平界面B. 形成化合化的界面.C. 机械咬合界面D. 合金的扩散界面

本题考查薄膜与衬底结合界面的形态类型。核心思路是理解不同界面形态的形成机制及其对应的结合方式。关键点在于区分物理结合、化学结合、机械嵌合及扩散结合的不同表现形式，需结合材料科学中的基本概念进行判断。

薄膜与衬底的结合界面形态主要由材料性质、沉积工艺及结合机制决定，具体包括以下四种类型：

1. 平界面：薄膜与衬底接触面完全平整，无明显结构变化，通常由低温沉积或材料热膨胀匹配性良好时形成。
2. 化合化界面：界面处发生化学反应生成新化合物层（如金属与氧化物衬底反应形成氧化物层），属于化学键合。
3. 机械咬合界面：薄膜与衬底通过表面微观形貌的嵌合形成机械互锁结构，常见于涂层工艺。
4. 合金扩散界面：高温下薄膜与衬底材料相互扩散形成合金层，属于冶金结合，结合强度高。

综上，四个选项均正确。