题目

光刻胶旋涂时以下哪些因素与形成的光刻胶薄膜厚度影响较大?A. 旋涂转速(每分钟的转速,rpm)B. 光刻胶自身的粘稠度C. 基片大小(直径)D. 旋涂时长(待旋涂转速稳定后)

光刻胶旋涂时以下哪些因素与形成的光刻胶薄膜厚度影响较大?

A. 旋涂转速(每分钟的转速,rpm)

B. 光刻胶自身的粘稠度

C. 基片大小(直径)

D. 旋涂时长(待旋涂转速稳定后)

题目解答

答案

ABD
A. 旋涂转速(每分钟的转速,rpm)
B. 光刻胶自身的粘稠度
D. 旋涂时长(待旋涂转速稳定后)