题目

在微硕材料的芯片制造工艺中，光刻环节的关键设备是（ ）：A. 镀膜机B. 清洗机[1]C. 刻蚀机D. 光刻机

在微硕材料的芯片制造工艺中，光刻环节的关键设备是（ ）：

A. 镀膜机

B. 清洗机[1]

C. 刻蚀机

D. 光刻机

题目解答

答案

D. 光刻机