根据扩散杂质在晶格中的位置不同，将扩散分为（）。A. 填隙式扩散B. 替位式扩散C. 有限源扩散D. 恒定源扩散

本题考查扩散类型的分类依据。关键在于理解扩散过程中杂质在晶格中的位置差异。填隙式扩散和替位式扩散是根据杂质占据晶格的位置不同进行的分类，而有限源扩散和恒定源扩散则是根据杂质的浓度梯度或来源条件分类。因此，题目中的分类标准应聚焦于位置类型。

选项分析

• 填隙式扩散（A）：杂质原子占据晶格间隙的位置，依赖于晶格间隙的存在。
• 替位式扩散（B）：杂质原子取代晶格中原有原子的位置，需与晶格常驻原子大小相近。
• 有限源扩散（C）：杂质浓度随时间变化，属于扩散条件分类。
• 恒定源扩散（D）：杂质浓度梯度恒定，同样属于扩散条件分类。

结论

题目明确要求按位置分类，因此正确答案为A、B。